Geographie
Die Gemeinde liegt auf dem Holzbirrliberg, einem sanft gewellten Hügelzug oberhalb des Reusstals. Oberwil befindet sich im Südwesten des Gemeindegebiets auf einer Höhe von rund 530 Metern. Rund einen Kilometer nordöstlich davon, auf einer Höhe von 590 Metern, befindet sich Lieli. Die Fläche des Gemeindegebiets beträgt 535 Hektaren, davon sind 146 Hektaren mit Wald bedeckt und 81 Hektaren überbaut. Der höchste Punkt befindet sich auf 674 Metern im Oberholz nördlich von Lieli, die tiefste Stelle liegt auf 450 Metern im Gebiet Halden südlich von Oberwil.
Nachbargemeinden sind Berikon im Norden, Birmensdorf im Nordosten, Aesch ZH im Osten, Arni im Südosten, Unterlunkhofen im Süden und Zufikon im Westen.
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